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鏈式濕法刻蝕設備

設備簡介   

設備名稱:鏈式濕法刻蝕設備

設備型號:SC-LSS4500CS/ SC-LSS8000CS

設備用途:對單、多晶矽片進行刻蝕、清洗、幹燥。

工藝流程:正麵保護→刻蝕→堿洗→酸洗→烘幹

 

技術特點 

· 高產能:4500PCS/5道,8000PCS/10道。

· 高均勻性,超長藥液壽命。

· 支持多種添加劑或混合添加劑技術。

· 支持最薄120μm矽片。

· 快速換液,在線換液。

· 支持MES,選配在線稱重檢測。

· 兼容酸拋光功能。

 

·免加硫酸

·無刻蝕線

·自動化程度高

·PID-Free(O3模塊,可選)

 

設備參數

鏈式濕法刻蝕設備(參數圖).JPG