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全自動石英舟裝卸片機

設備名稱:全自動石英舟裝卸片機

設備型號:SYZ-Ⅲ/SYZ-IV

設備用途:集裝片和卸片一體,可從石英舟中把擴散後的矽片卸到片籃中,也可從片籃中將製絨後的矽片裝入石英舟中。可在一個石英舟插槽中插入兩片,實現單麵擴散片工藝,也可在一個石英舟插槽中 插入一片,實現雙麵擴散片工藝。采用裝片與卸片可連續銜接方式,實現連續生產;也可單獨裝片或單獨卸片。

 

技術特點  

SYZ-III

· 關鍵部位采用德國IFM高品質、高穩定性的係列傳感器,保證檢測的可靠性。

· 控製程序結構模塊化,重複調用及可讀性強,便於功能擴展與維護。

· 采用配方數據的設計使設備能適應各種不同加工精度的石英舟,以自動跟隨舟號的方式自動調取與舟號相對應的配方數據進行生產,無需人工幹預。

· 匹配AGV,RFID;可選配MES功能;可選配方阻檢測模組。


SYZ-IV

· 產能:7200片/小時。

· HMI采用(IPC)工業計算機運行上位軟件,通過網絡通訊實現高速數據交互。

· 采用工業相機CCD檢測石英舟動態位置實現糾偏定位。

· 卸片前設有冷卻係統,可防止因高溫帶來對矽片和設備的不良影響。

· CCD影像預判舟內矽片狀況結合機械臂各吸盤吸取狀態實現漏吸與掉片檢測。(選配,標準機型無此功能)

· CCD圖像分析判斷陶瓷頂齒區域碎片,配合動態跟隨清理裝置實現自動清理碎片。(選配,標準機型無此功能)

· 匹配AGV,RFID;可選配MES功能;可選配方阻檢測模組。

 

設備參數  

 

全自動石英舟裝卸片機(設備參數).JPG